清华大学科技成果转化,专注先进制程光刻胶研发生产

华睿芯材(无锡)科技有限公司成立于2021年,是一家清华大学纳米金属氧化物型(MOR)先进制程光刻胶前沿科技成果转化企业。公司由北京华睿新能动力科技发展有限公司、清华大学(华控技术转移有限公司)、及技术原创发明人清华大学教授团队共同出资成立。
公司定位为以科技创新解决先进制程光刻胶及其关键原材料大规模制备及生产,满足国家半导体产业重大战略需求,致力成为国际一流光刻胶创新技术领先企业。
专注于半导体光刻胶及其相关配套化学品的研发与生产
专注于纳米金属氧化物(MOR)型光刻胶技术研发,开发极紫外光刻胶、深紫外光刻胶、电子束光刻胶和高速3D打印光刻胶等系列产品。
推进光刻胶产品在半导体生产线的实际应用,提供工艺适配和优化服务,确保产品在实际生产环境中的稳定表现。
专注于光刻胶核心组分的大规模制备,包括成膜树脂等关键原材料,实现从基础材料到成品的全产业链覆盖。
将清华大学的前沿科研成果转化为实际生产力,推动产学研深度融合,加速科技成果产业化进程。
构建完整的光刻胶供应链体系,确保关键原材料供应稳定,保障产品品质和交付能力。
积极开拓国内外半导体市场,与产业链上下游企业建立战略合作关系,提升市场竞争力。
源自清华大学的原创性MOR型光刻胶技术
公司原创性技术源于清华大学,是国内首家MOR型先进制程光刻胶研发及生产企业,是中国为数不多能自主掌握光刻胶原材料(成膜树脂)、配方、技术的科创企业。
MOR型光刻胶采用纳米金属氧化物作为主要成分,具有优异的分辨率、线宽控制能力和工艺稳定性,能够满足先进制程的严苛要求。
清华大学原创发明,技术源头可控
满足先进制程需求,技术领先行业
从原材料到成品的完整技术链条
自主知识产权,不受国外技术限制

适用于7nm及以下先进制程,满足下一代芯片制造需求
适用于14nm-28nm制程,性能稳定,成本效益高
适用于纳米级图案化,分辨率可达10nm以下
专为高速3D打印技术开发,成型速度快,精度高
成为国际一流光刻胶创新技术领先企业
以科技创新解决先进制程光刻胶及其关键原材料大规模制备及生产,满足国家半导体产业重大战略需求,推动我国半导体产业自主可控发展。
致力成为国际一流光刻胶创新技术领先企业,通过持续的技术创新和产业化推进,为中国乃至全球半导体产业发展贡献重要力量。
持续技术创新,引领行业发展
严格质量控制,确保产品可靠
诚实守信经营,建立长期合作
携手合作伙伴,共创美好未来

与行业领先机构建立深度合作关系
期待与您携手共创半导体材料的美好未来
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